激光清洗技術(shù)是指利用高能激光束照射工件表面，使表面的污物、銹斑或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離，高速有效地清除清潔對象表面附著物或表面涂層，從而達(dá)到潔凈的工藝過程。它是基于激光與物質(zhì)相互作用效應(yīng)的一項新技術(shù)，與傳統(tǒng)的機(jī)械清洗法、化學(xué)清洗法和超聲波清洗法(濕清洗工藝)不同、它不需要任何破壞臭氧層的CFC類有機(jī)溶劑，無污染，無噪聲，對人體和環(huán)境無害，是一種“綠色”清洗技術(shù)。
激光清洗與機(jī)械磨擦清洗、化學(xué)腐蝕清洗、液體固體強(qiáng)力沖擊清洗、高頻超聲清洗等傳統(tǒng)清洗方法相比，有明顯的優(yōu)點。它高效、快捷、成本低，對基片產(chǎn)生的熱負(fù)荷和機(jī)械負(fù)荷小，清洗為非損傷；廢物可回收，無環(huán)境污染；安全可靠，不損害操作人員健康；可以清除各種不同厚度、不同成份的涂層；清潔過程易于實現(xiàn)自動化控制，實現(xiàn)遠(yuǎn)距離遙控清洗等。
| 項目 | 參數(shù) |
| 激光平均功率 | 100-1000 W |
| 激光器類型 | 光纖激光器 |
| 功率調(diào)節(jié)范圍（%） | 10-100(漸變可調(diào)) |
| 聚焦光斑直徑（mm） | 0.08/0.06 |
| 激光波長（nm） | 1064 |
| 重復(fù)頻率（KHz） | 10-50（漸變可調(diào)） |
| 單脈沖能量（mJ） | 10.00 |
| 峰值功率值（KW） | 100 |
| 光斑直徑（mm） | 6-7 |
| 脈沖強(qiáng)度（Watt/m2） | 0.10 |
| 清洗效率（m3/h） | 5 |
| 焦距（mm） | 210/160可更換 |
| 冷卻方式 | 風(fēng)冷/水冷 |
